技术指标：

1. 直流指标

   SMU量程：电压1μV-200V；电流0.1fA-1A

   SMU测量分辨率：电压1μV；电流0.1fA

   SMU测量精度：电压100μV；电流10fA

2. 交流指标

   双通道脉冲发生器的最小脉宽：10ns（周期为20ns）

   双通道脉冲发生器的最大电压：对于50Ω为±20V

   双通道数字示波器采样速率：1.25G次采样/秒/通道

   带宽（50Ω）：直流到1GHz

   测量分辨率：8位A/D

功能特色：

1. 提供低电平的精密测试，分辨率达fA级别

2. 存储实验数据的同时实时绘图

3. 提供完整的半导体器件电学性质测试方案

应用范围：

1. 半导体器件

2. 片上参数测试

3. 晶圆级可靠性

4. 封装器件特性分析

5. C-V/I-V 特性分析，需选件4200-590高频C-V分析器

6. 高K栅电荷俘获

7. 受自加热效应影响的器件和材料的等温测试

8. Charge pumping用于MOSFET器件的界面态密度分析

9. 电阻性的或电容性的MEM驱动器特性分析

10. 光电子器件