美国吉时利公司4200-SCS半导体特性分析系统
美国吉时利公司4200-SCS半导体特性分析系统

技术指标:

  1. 直流指标
    SMU量程:电压1μV-200V;电流0.1fA-1A
    SMU测量分辨率:电压1μV;电流0.1fA
    SMU测量精度:电压100μV;电流10fA
  2. 交流指标
    双通道脉冲发生器的最小脉宽:10ns(周期为20ns)
    双通道脉冲发生器的最大电压:对于50Ω为±20V
    双通道数字示波器采样速率:1.25G次采样/秒/通道
    带宽(50Ω):直流到1GHz
    测量分辨率:8位A/D

功能特色:

  1. 提供低电平的精密测试,分辨率达fA级别
  2. 存储实验数据的同时实时绘图
  3. 提供完整的半导体器件电学性质测试方案

应用范围:

  1. 半导体器件
  2. 片上参数测试
  3. 晶圆级可靠性
  4. 封装器件特性分析
  5. C-V/I-V 特性分析,需选件4200-590高频C-V分析器
  6. 高K栅电荷俘获
  7. 受自加热效应影响的器件和材料的等温测试
  8. Charge pumping用于MOSFET器件的界面态密度分析
  9. 电阻性的或电容性的MEM驱动器特性分析
  10. 光电子器件